B11 · Gas Semikonduktor & Elektronik
Pelat Baja Tahan Karat untuk Gas Khusus Semikonduktor dan Elektronik: Panduan Pemilihan dan 6 Daftar Bagian
Dalam gas khusus semikonduktor dan elektronik kami, kami telah menyusun 6 bagian menggunakan baja tahan karat: 316L / 304L yang umum digunakan dengan ketebalan berkisar 0,05–30 mm.
Enam Lokasi dan Daftar Material
| Lokasi / Bagian | Grade yang Direkomendasikan | Spesifikasi / Ketebalan | Permukaan | Kegagalan Utama | Standar Referensi |
|---|---|---|---|---|---|
| Pipa Transfer Gas UHP | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Electropolishing Ra≤0,4μm; Uji Korosi Intergranular | Retensi partikel → kontaminasi wafer; etsa Cl⁻/F⁻; korosi zona terpengaruh panas (HAZ) las | SEMI F20 Grade 5; ASTM A269/A632; SEMI F19 |
| Badan katup/pengukuran/katup diafragma untuk kabinet gas khusus | 316L Tempa VIM-VAR | DN1/4″–1″; Cv 0.05–1.30 | Pemolesan elektrolitik Ra≤0.4μm | Jarak dari dudukan pemasangan ke dinding pipa > 1D membentuk zona mati tertahan; etsa gas khusus korosif | SEMI F20 4.6.2; ASTM A182 |
| Filter gas/konektor/bos | 316L VIM-VAR | Berdasarkan antarmuka | Elektropolishing Ra≤0,4μm | Penyumbatan partikulat dan produk korosi; kebocoran sambungan | SEMI F20; ASTM A269 |
| Jalur Pipa Transfer Bubur CMP/Bahan Kimia Basah | 316L Lapisan EP/PFA/PTFE | 1/4″–2″ | Electropolishing Ra≤0,4μm | Penggerindaan Abrasif + Asam Kuat/Oksidan + Penahanan Partikel | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| Wafer/Cincin Penjepit/Nozel Pencuci | 316L/PFA/Silikon/Silikon Karbida Kubik | Bejana 3-10mm | Pemolesan/Difusi | Korosi Kuat + Kontaminasi Partikel | SEMI F20; ASTM A240 |
| Ruang Vakum/Pelat Muka/Leher Jendela Pengamatan | 304L/316LTingkat Vakum | Kapal | 2B/Pemolesan Abrasif/Pencucian Asam | Degradasi Vakum Rendah, Kebocoran Las | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
Tingkat KetidaksesuaianKonfigurasi Standar.Bagian yang sama dapat beralih dari 316L ke 304L atau 2205 berdasarkan kondisi penggunaan, menghemat waktu dengan menentukan kondisi bukan hanya material.
Poin Penting dalam Pemilihan Material
- Grade yang paling umum digunakan adalah 316L (6) dan 304L (1).
- Mulai dengan 316L tahan asam, tingkatkan dengan 904L / atau dupleks (2/6 kecocokan).
- Rentang ketebalan: 0,05–30 mm: Pelat tipis untuk bagian pembentukan (pertimbangkan pantulan tekuk dan retak deep drawing), pelat tebal untuk struktur las (pertimbangkan masukan panas dan sensitisasi).
Pertanyaan yang sering diajukan
Jenis baja tahan karat mana yang paling umum digunakan untuk gas khusus semikonduktor dan elektronik?
Dari total 6 komponen, 316L memiliki frekuensi kemunculan tertinggi (6 kecocokan), diikuti oleh 304L (1 kecocokan). Untuk komponen tertentu, hal ini masih bergantung pada media dan suhu. Misalnya, jika salah satu permukaan meja stainless steel bersentuhan dengan air garam, kedua permukaan meja tersebut akan memerlukan grade yang berbeda.
Jenis area apa yang rentan menimbulkan masalah?
Berdasarkan deskripsi kegagalan, contoh tipikal meliputi "pipa transportasi gas UHP": retensi partikel → kontaminasi wafer; korosi khusus Cl⁻/F⁻; korosi zona terpengaruh panas (HAZ) las. Grade yang direkomendasikan 316L VIM-VAR dengan spesifikasi 1/8″–2″. Untuk kondisi ini, disarankan untuk menetapkan konsentrasi medium, suhu, dan metode pembersihan pada tahap desain.
Ketebalan berapa yang harus saya pilih?
Rentang ketebalan dalam daftar adalah 0,05–30 mm. Untuk pelat tipis, pertimbangkan pembengkokan dan hasil akhir permukaan; untuk pelat tebal, pertimbangkan pengelasan dan kekuatan struktural. Nilai dapat bervariasi antar produsen peralatan untuk lokasi yang sama. Periksa kembali dengan gambar atau kondisi operasi Anda.
Material Terkait dan Industri Berdekatan
Applications6